Hệ thống máy đo MVS-H404P1L-D, MiSCAN Hyper 404, 364-512SY Mitutoyo là dòng CMM lai (Hybrid Coordinate Measuring Machine) thế hệ mới, được thiết kế chuyên biệt cho đo lường hình học siêu chính xác.
Sản phẩm kết hợp công nghệ đầu dò tiếp xúc siêu nhỏ SP25M và hệ thống quang học quét laser MPP-NANO, mang lại khả năng đo vượt trội cả về tốc độ lẫn độ phân giải. Đây là giải pháp lý tưởng cho ngành vi cơ điện tử (MEMS), sản xuất linh kiện quang học, công nghệ y tế và bán dẫn, nơi yêu cầu độ chính xác ở mức nano.
Thông số kỹ thuật:
Hãng sản xuất: Mitutoyo – Nhật Bản
Mã sản phẩm: 364-512SY (MVS-H404P1L-D, MiSCAN Hyper 404)
Hệ trục đo: 3 trục XYZ
Phạm vi đo: X: 400 mm, Y: 400 mm, Z: 300 mm
Độ chính xác (MPEe): ±(0.25 + 0.6L/1000) µm
Hệ thống đầu dò:
Đầu dò tiếp xúc SP25M (Scanning Probe)
Đầu dò quang học MPP-NANO (độ phân giải nano)
Đặc điểm:
Kết hợp đo tiếp xúc & đo quang học (hybrid)
Hỗ trợ đo biên dạng siêu nhỏ, bề mặt phức tạp
Tích hợp phần mềm đo lường MCOSMOS chuyên dụng
Ứng dụng: Đo hình học 3D, đo bề mặt, biên dạng, độ nhám, đo kích thước chi tiết siêu nhỏ.
Ưu điểm nổi bật:
Độ chính xác nano – lý tưởng cho đo chi tiết siêu nhỏ.
Công nghệ hybrid (tiếp xúc + quang học) – đo linh hoạt nhiều dạng bề mặt.
Phạm vi đo rộng (400x400x300mm) – phù hợp nhiều ứng dụng công nghiệp.
Tốc độ quét nhanh, dữ liệu chính xác và ổn định.
Tích hợp phần mềm MCOSMOS mạnh mẽ, hỗ trợ phân tích và xuất báo cáo.
